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什么是质量流量控制器？
来源: | 作者:profb32e9 | 发布时间: 1339天前 | 1009 次浏览 | 分享到:
气体质量流量控制器，即 Mass Flow Controller ( 缩写为 MFC )
答：气体质量流量控制器，即 Mass Flow Controller ( 缩写为 MFC  ) ，是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化，也不会影响其正常的工作。原则上不需要温度和压力补偿。