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MEMS气体质量流量计结构和原理
来源:www.linetech-cn.com | 作者:昕潼 | 发布时间: 284天前 | 436 次浏览 | 分享到:
LM030M气体质量流量计,是一款MEMS技术气体质量流量计,是微机电系统气体质量流量计.MEMS传感器即微机电系统(Micro-electro Mechanical Systems),是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器.与传统的传感器相比,具有体积小/成本低/功耗低/可靠性高/易于集成等特点.

       LM030M气体质量流量计,是一款MEMS技术气体质量流量计,是微机电系统气体质量流量计.MEMS传感器即微机电系统(Micro-electro Mechanical Systems),是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,具有体积小/成本低/功耗低/可靠性高/易于集成等特点。

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MEMS传感器即微机电系统(Micro-electro Mechanical Systems),是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,具有体积小、成本低、功耗低、可靠性高、易于集成等特点。



MEMS传感器内部结构和原理

这种传感器芯片采用使用热线的质量流量检测方式。其芯片中间具有加热器,上游侧的热电堆 (A)及下游侧热电堆 (B)配置在加热器的 两侧,热电堆附近配置有基座测温体,它们均是采用半导体工艺制造的。加热器和热电堆列组的底部形成空腔,使得热电堆可快检测加热器的热量。

LM030M (MEMS微机电系统技术)气体质量流量计。LM系列是LineTech在2020年开发出的新产品,也是LineTech一代MEMS技术的气体质量流量计。因为有了MEMS技术,为我们的LM系列产品提供了非常好的性能,同时降低了产品的成本。它在低流量时有非常好的精确性,并提高了响应时间,良好的线性,长期的稳定性,相信会带给客户更好的体验,并为客户节约成本。

商品名称:气体质量流量计

商品类型:MEMS气体质量流量计

                 微机电系统气体质量流量

                 微电子系统气体质量流量


气体质量流量计

型号:LM030M气体质量流量计

量程范围(N2):0.01slpm~30slpm
响应时间:<1 sec
精确度:±1% of FS
重复性:±0.25%
输入输出信号:0-5Vdc 或 4-20mA 可选
供电:+15~+24Vdc,350mA
工作压力:<10 bar
工作温度范围:0~50℃
漏率:1×10-9atm.cc/sec
控制量程:3~100%
通讯协议:无  


气体质量流量计

产品特点与优势:

ØMEMS(微机电系统)技术

Ø低流量时精确

Ø成本效率高
Ø提高响应时间
Ø宽压力范围兼容性
Ø线性度好
Ø长期稳定
Ø紧凑的连接


应用领域: 
Ø生务技术、制要行业
Ø气体泄露检测系统
Ø食品、化学、石化等行业气体流量监控
Ø燃料电池、环宝设备
Ø光纤、玻璃、表面处理设备
ØLED 照明、金属加工
Ø精密气体混合与分析
Ø大学、实验室、研发机构和研发设备
Ø半导体、太阳能、光伏制造业



气体质量流量计尺寸图

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