很多刚刚接触到气体质量流量计这类产品的朋友，会对于气体质量流量计和气体质量流量控制器感到很陌生，昕潼从事气体质量流量计十几年了，在产品研发和应用上总结了一些经验，下面就给大家介绍一下数字高精度气体质量流量计MFM和大流量气体质量流量控制器MFC的组成结构和工作原理。

1、什么是气体质量流量计？

气体质量流量计MFM（Mass Flow Meter）是一款计量仪表，和我们家里的煤气表、水表类似。气体质量流量计MFM是由电路板、传感器、进出气管道接头、底座、分流器、机壳等部分组成，可以对气体质量流量进行测量。

二、什么是气体质量流量控制器？

气体质量流量控制器MFC（Mass Flow Controller）是在气体质量流量计的基础上加上电磁阀组，对气体质量流量进行测量的同时，还可以对气体质量流量进行控制。

气流通过进气口管道进入控制器底座内部，底座内部内置分流器。分流器可以令气体中很小的一部分气体进入传感器内部的毛细管中。由于分流器通道的特殊结构，可以实现这两部分气体流量成正比例关系。传感器经过预热加温，里而的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理测量这一小部分气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经过放大后输出，就完成了MFM的功能。

气流进入进气管道街头后大部分流量流过分流器通道，其中很小一部分进入传感器内部的毛细钢管。由于分流器通道的特殊结构，可以实现这两部分气体流量成正比例关系。传感器经过预热加温，里而的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理测量这一小部分气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经过放大后输出，就完成了MFM的功能。将电路板中加入 PID 闭环自动控制功能，把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，以此为基础控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样便实现了MFC的功能。

气体质量流量计（MFM）和气体质量流量控制器（MFC）在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着中重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如：氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。

如果您有气体流量控制方面的需求，欢迎联系我们，我们可以根据您的需求设计产品的方案。

上海昕潼贸易有限公司，一家专做气体质量流量计和控制器的公司。